CVD & PECVD Furnace
Máquina de horno de tubo CVD de múltiples zonas de calentamiento para equipos de deposición química de vapor
Número de artículo : KT-CTF14
El precio varía según Especificaciones y personalizaciones
- Temperatura máxima
- 1400℃
- Zona de calentamiento
- 2x450mm
- Precisión del control de temperatura
- ±1℃
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Descubra los avanzados hornos tubulares CVD multizona de KINTEK
En KINTEK, aprovechamos la I+D excepcional y la fabricación interna para proporcionar a diversos laboratorios soluciones avanzadas de hornos de alta temperatura. Nuestros hornos tubulares CVD multizona están diseñados para ofrecer precisión, fiabilidad y adaptabilidad, potenciando sus procesos de investigación y producción.
Escaparate de productos: Horno tubular CVD multizonas de calentamiento
Diagrama esquemático de la estructura típica de la cámara de reacción del equipo de PECVD tubular 1. Orificio de escape；2. Brida de cola；3. Brida de refrigeración del agua de cola；4. Brida de sellado de cola；5. Brida de fijación de la cola；6. Electrodo；7. Barco de grafito；8. Tubo de cuarzo；9. Brida de fijación frontal；10. Brida frontal de refrigeración por agua；11. Brida frontal de entrada de aire；12. Puerta del horno
¿Qué es un horno tubular CVD multizona?
Un horno tubular de deposición química en fase vapor (CVD) multizona es un equipo de laboratorio especializado diseñado para depositar películas finas sobre sustratos mediante reacciones químicas de gases o vapores. La ventaja fundamental del diseño "multizona" reside en sus múltiples zonas de calentamiento controladas de forma independiente. Esto permite manipular con precisión el perfil de temperatura dentro del horno, un factor crucial para muchos procesos de CVD, ya que la temperatura influye directamente en las propiedades de la película depositada. Estos hornos son indispensables tanto para la investigación y el desarrollo de vanguardia como para las exigentes aplicaciones de producción.
¿Por qué elegir los hornos de CVD multizona de KINTEK?
Los hornos tubulares CVD multizona de KINTEK están diseñados para ofrecer un rendimiento superior y adaptabilidad para sus procesos críticos. Así es como potenciamos su trabajo:
- Precisión de temperatura inigualable: Las zonas de calentamiento independientes permiten la creación de campos de temperatura constante extendidos o gradientes de temperatura controlados con precisión, esenciales para la deposición uniforme y la síntesis de materiales especializados.
- Control avanzado del proceso: El control de temperatura programable PID garantiza una precisión excelente. Junto con las capacidades de control remoto y centralizado, usted gana flexibilidad y facilidad de supervisión.
- Suministro de gas estable y preciso: Los caudalímetros másicos MFC (Mass Flow Controller) de alta precisión garantizan velocidades de suministro de gas precisas y estables, incluyendo opciones para premezclar los gases de origen, vitales para una calidad de película uniforme.
- Entorno de alto vacío fiable: Las robustas bridas de vacío de acero inoxidable con varios puertos de adaptación garantizan un sellado excelente, logrando y manteniendo los altos grados de vacío necesarios para los delicados procesos de CVD.
- Funcionamiento sencillo y análisis de datos: Algunos modelos, como el KT-CTF14 Pro, incorporan un controlador con pantalla táctil TFT de 7 pulgadas, que simplifica la configuración de los programas y permite analizar fácilmente los datos históricos.
- Versatilidad para diversas aplicaciones: Nuestros hornos no se limitan a CVD; también son ideales para difusión, recocido, sinterización y otros tratamientos térmicos al vacío o en atmósferas controladas.
- Diseño energéticamente eficiente: Con un aislamiento de fibra cerámica de alta calidad y una estructura de doble capa, nuestros hornos minimizan la pérdida de calor, reduciendo las temperaturas externas y ahorrando energía.
- Materiales duraderos y personalizables: Los tubos de los hornos están disponibles en varios materiales como acero resistente al calor, vidrio de cuarzo de alta pureza y cerámica para adaptarse a diversos entornos químicos y requisitos de temperatura.
Principio de funcionamiento
El horno tubular CVD de múltiples zonas de calentamiento utiliza el proceso de deposición química en fase vapor (CVD) para depositar películas finas sobre sustratos. Los precursores gaseosos, normalmente compuestos metalorgánicos y/o hidruros, se introducen en la cámara del horno. Estos precursores reaccionan químicamente a temperaturas controladas para formar una película sólida sobre el sustrato. Las múltiples zonas de calentamiento del horno permiten un control preciso de la temperatura de deposición y del gradiente de temperatura en el sustrato, lo que permite la deposición de películas de alta calidad con propiedades personalizadas, como el grosor, la composición y la cristalinidad. Un sistema de vacío integrado elimina las impurezas y controla la presión de deposición, garantizando unas condiciones de proceso óptimas.
Aplicaciones
Nuestros hornos tubulares CVD de múltiples zonas de calentamiento se utilizan ampliamente en diversos campos avanzados, entre los que se incluyen:
- Deposición química en fase vapor (CVD): Crecimiento de películas finas para dispositivos electrónicos, semiconductores, células solares, recubrimientos y nanomateriales.
- Difusión: Dopado preciso de semiconductores y metales.
- Recocido: Tratamiento térmico de materiales para mejorar sus propiedades estructurales y físicas.
- Sinterización: Unión de materiales en polvo mediante calor y presión controlados para formar estructuras sólidas.
- Tratamientos térmicos: Una amplia gama de procesos controlados de calentamiento y enfriamiento para la investigación y modificación de materiales.
- Análisis y determinación de elementos: Preparación de muestras con fines analíticos.
- Procesado de materiales: Temple, recocido y revenido de pequeñas piezas de acero, desarrollo de cerámica electrónica y otros nuevos materiales.
Especificaciones técnicas
| Modelo de horno | KT-CTF14-60 |
|---|---|
| Temperatura máxima | 1400℃ |
| Temperatura de trabajo constante | 1300℃ |
| Material del tubo del horno | Tubo de Al2O3 de alta pureza |
| Diámetro del tubo del horno | 60mm |
| Zona de calentamiento | 2x450mm |
| Material de la cámara | Fibra policristalina de alúmina |
| Elemento calefactor | Carburo de silicio |
| Velocidad de calentamiento | 0-10℃/min |
| Par térmico | Tipo S |
| Controlador de temperatura | Controlador PID digital/Controlador PID de pantalla táctil |
| Precisión del control de temperatura | ±1℃ |
| Unidad de control preciso de gas | |
| Caudalímetro | Caudalímetro másico MFC |
| Canales de gas | 4 canales |
| Caudal |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| Linealidad | ±0,5% F.S. |
| Repetibilidad | ±0,2% E.F. |
| Tubería y válvula | Acero inoxidable |
| Presión máxima de funcionamiento | 0,45MPa |
| Controlador del caudalímetro | Controlador de perilla digital/Controlador de pantalla táctil |
| Unidad de vacío estándar (opcional) | |
| Bomba de vacío | Bomba de vacío rotativa de paletas |
| Caudal de la bomba | 4L/S |
| Puerto de succión de vacío | KF25 |
| Vacuómetro | Vacuómetro de silicona Pirani/Resistance |
| Presión nominal de vacío | 10Pa |
| Unidad de alto vacío (opcional) | |
| Bomba de vacío | Bomba rotativa de paletas+Bomba molecular |
| Caudal de la bomba | 4L/S+110L/S |
| Puerto de succión de vacío | KF25 |
| Vacuómetro | Vacuómetro compuesto |
| Presión de vacío nominal | 6x10-5Pa |
| Las especificaciones y configuraciones anteriores pueden personalizarse | |
Paquete estándar
| No. | Descripción | Cantidad |
|---|---|---|
| 1 | Horno | 1 |
| 2 | Tubo de cuarzo (u otro material según pedido) | 1 |
| 3 | Juego de bridas de vacío | 2 |
| 4 | Bloque térmico del tubo | 2 |
| 5 | Gancho bloque térmico tubo | 1 |
| 6 | Guante resistente al calor | 1 |
| 7 | Unidad de control de gas de precisión (si se ha pedido) | 1 |
| 8 | Unidad de vacío (si se pide) | 1 |
| 9 | Manual de instrucciones | 1 |
Personalización profunda para sus necesidades únicas
KINTEK destaca en el suministro de soluciones de hornos profundamente personalizadas para satisfacer con precisión requisitos experimentales y de producción únicos. Además de nuestras configuraciones estándar, ofrecemos una amplia gama de configuraciones y modificaciones opcionales:
- Detección y monitorización de gases en el tubo (por ejemplo, H2, O2).
- Sistemas independientes de control y registro de la temperatura del horno.
- Puerto de comunicación RS 485 para control remoto por PC y exportación de datos.
- Opciones versátiles de control del caudal de alimentación de gas, incluidos varios caudalímetros másicos y caudalímetros de flotador.
- Avanzados controladores de temperatura de pantalla táctil con interfaces fáciles de usar y amplias capacidades de programación.
- Completas configuraciones de estaciones de bombas de alto vacío, que incorporan bombas de vacío de paletas, bombas moleculares, bombas de difusión, etc.
- Dimensiones de hornos personalizadas, configuraciones de zonas de calentamiento y selección de materiales.
Díganos cuál es su reto y nosotros diseñaremos la solución.
Asóciese con KINTEK para sus soluciones de alta temperatura
Con una sólida base en I+D y fabricación propia, KINTEK se dedica a suministrar a laboratorios de todo el mundo sistemas avanzados de hornos de alta temperatura, incluidos hornos de mufla, hornos tubulares, hornos rotativos, hornos de vacío y atmósfera y sistemas especializados de CVD/PECVD/MPCVD. Nuestro compromiso con la personalización profunda garantiza que usted reciba un horno perfectamente adaptado a sus objetivos experimentales específicos.
¿Está preparado para mejorar sus capacidades de investigación y procesamiento de materiales? Hable de sus necesidades con nuestro equipo de expertos.
Póngase en contacto con nosotros para obtener una solución personalizada o un presupuesto
FAQ
¿Qué Es Un Horno Tubular Y Cómo Funciona?
¿Cuáles Son Las Principales Aplicaciones De Los Hornos Tubulares Multizona?
¿Qué Es Un Horno Tubular Vertical?
¿Qué Es Un Horno De Inducción De Vacío?
¿Cuáles Son Las Principales Aplicaciones De Un Horno De Vacío?
¿Para Qué Se Utiliza Un Horno De Atmósfera?
¿Cuáles Son Las Principales Aplicaciones De Los Hornos Tubulares?
¿Cuáles Son Las Principales Características De Los Hornos Tubulares Multizona?
¿Cuáles Son Las Aplicaciones De Un Horno Tubular Vertical?
¿Cuáles Son Las Principales Aplicaciones De Los Hornos De Inducción De Vacío?
¿Cuáles Son Las Principales Características De Un Horno De Vacío?
¿Cuáles Son Las Principales Características De Un Horno De Atmósfera?
¿Cuáles Son Las Ventajas De Utilizar Un Horno Tubular?
¿Cómo Funciona Un Horno Tubular Multizona?
¿Cuáles Son Las Ventajas De Un Horno Tubular Vertical?
¿Cómo Funciona Un Horno De Inducción Al Vacío?
¿Cómo Funciona Un Horno De Vacío?
¿Cómo Funciona Un Horno De Atmósfera?
¿Qué Tipos De Hornos Tubulares Existen?
¿Cuáles Son Las Ventajas De Utilizar Un Horno Tubular Multizona?
¿Cómo Funciona Un Horno Tubular Vertical?
¿Cuáles Son Las Ventajas De Utilizar Un Horno De Inducción Al Vacío?
¿Cuáles Son Las Ventajas De Utilizar Un Horno De Vacío?
¿Cuáles Son Las Ventajas De Utilizar Un Horno De Atmósfera?
¿Qué Rangos De Temperatura Pueden Alcanzar Los Hornos Tubulares?
¿Qué Tipos De Hornos Tubulares Multizona Existen?
¿Qué Tipos De Hornos Tubulares Verticales Hay Disponibles?
¿Qué Tipos De Hornos De Inducción Al Vacío Existen?
¿Qué Tipos De Materiales Pueden Procesarse En Un Horno De Vacío?
¿Qué Tipos De Gases Pueden Utilizarse En Un Horno De Atmósfera?
¿Pueden Funcionar Los Hornos Tubulares En Distintas Atmósferas?
¿Por Qué Elegir Un Horno Tubular Vertical En Lugar De Uno Horizontal?
¿Por Qué Es Importante El Control De La Temperatura En Los Hornos De Inducción De Vacío?
¿Cuál Es La Diferencia Entre Los Hornos De Vacío De Pared Caliente Y De Pared Fría?
¿De Qué Dispositivos De Seguridad Disponen Los Hornos De Atmósfera Avanzados?
¿Qué Hace Especiales A Los Hornos Tubulares KINTEK?
¿Qué Rangos De Temperatura Pueden Alcanzar Los Hornos Tubulares Verticales?
¿Qué Materiales Pueden Procesarse En Un Horno De Inducción Al Vacío?
¿Pueden Personalizarse Los Hornos De Vacío Para Aplicaciones Específicas?
¿Se Pueden Personalizar Los Hornos Tubulares Verticales?
¿Cómo Beneficia El Entorno De Vacío Al Procesamiento De Materiales?
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High-quality materials and superb performance. Highly recommend.
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Perfect for our CVD needs. The machine is a workhorse.
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